美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質量流量控制器和儀表
挑戰：最大化工具正常運行時間和生產力
質量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導體工藝工具的基礎。流程工具只有在啟動和運行時才能獲得數百萬美元的投資回報；如果 MFC 偏離關鍵設定點，或者新的制造工藝需要多種氣體（和多個 MFC），則轉換和/或重新校準或維修的停機時間會增加。
解決方案：支持高級 MultiFlo ®的 GF 系列 MFC
以超高純度準確、可重復地輸送工藝氣體——這就是 GF 系列金屬密封質量流量控制器和儀表所提供的性能。GF 系列已通過七倍于半導體行業標準的可靠性測試。全金屬流路和耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器確保最高水平的氣體純度和無水分流動。獨特的可編程 MultiFlo® 技術使一個 MFC 能夠支持數千種氣體類型和范圍組合。
結果：提高了工藝靈活性和效率，并結合了行業最高水平的工藝氣體純度，有助于最大限度地提高產量和生產力。
美國BROOKS流量計GP系列
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產品 |
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美國BROOKS流量計GP100EtherCAT系列 |
美國BROOKS流量計GP100系列 |
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產品類別 |
質量流量控制器 |
質量流量控制器 |
質量流量控制器 |
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微分器 |
完全壓力不敏感的 P-MFC
在最廣泛的操作條件下提供最精確的工藝氣體輸送
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EtherCAT 通訊
高純度/超高純度
嵌入式診斷
超穩定的流量傳感器
改進的閥門關閉
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高純度/超高純度
標準GF系列
高流量GF系列
超快響應時間
壓力瞬態不敏感
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密封材料 |
金屬 |
金屬 |
金屬 |
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純度水平/表面光潔度 |
3 sccm - 50,000 sccm |
標準 GF 系列：3 sccm - 55 slm
高流量 GF 系列：55 slm - 300 slm
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標準 GF 系列：3 sccm - 55 slpm
高流量 GF 系列：55 slpm - 300 slpm
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準確性 |
零泄漏閥
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (0.5-5% FS)
金屬密封閥
<± 1% SP (5-100% FS)
<± 0.05% FS (2-5% FS)
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標準GF系列：±1% SP > 20-100%；±0.2% 滿量程 2-20%
高流量 GF 系列：±1% SP > 35-100%；±0.35% 滿量程 2-35%
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±1% SP > 35-100%
±0.35% 滿量程 2-35%
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最大壓力 |
150 磅/平方英寸 |
標準 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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標準 GF 系列：最大 500 psia
高流量 GF 系列：75 psig（控制器），150 psig（米）
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最高溫度 |
60攝氏度_ |
50攝氏度_ |
50攝氏度_ |
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模擬通信 |
0-5 伏直流電 |
- |
0-5 伏直流電 |
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數字通信 |
DeviceNet™
EtherCAT®
RS-485 L 協議
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EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-協議
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